介紹溶膠-凝膠法制備PZT鐵電薄膜的工藝過(guò)程，探討影響穩(wěn)定溶膠配制的原材料、溶劑及溶液的pH值選取。分析催化劑和添加劑在提高薄膜質(zhì)量方面的作用機(jī)理，理論上闡述了基片和PbTiO3過(guò)渡層對(duì)促進(jìn)PZT薄膜晶化的影響。提出優(yōu)化溶膠-凝膠技術(shù)的關(guān)鍵措施。利用優(yōu)化工藝對(duì)采用無(wú)機(jī)鹽硝酸鋯， 通過(guò)甩膠沉積在α-Al2O3基片上的PZT薄膜的微觀表面形貌和相結(jié)構(gòu)進(jìn)行了觀察。